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低压真空式等离子表面处理设备

产品特点

等离子辉光均匀稳定,处理均匀,效果明显;

有效清洗材料表面的有机污物

增强材料表面的附着力

适用于处理多种类型材料,包括:塑料、橡胶、金属、玻璃、陶瓷、聚合物以及几何形状各异的表面

操作简便,处理过程自动控制;

使用成本低,易于维护;

干式处理,无三废排放,安全环保;

产品详细介绍

技术参数

设备型号

C-100

C-S50

电极规格

水平/垂直

水平

外型尺寸

1840mm×1300mm×1900mm

1000mm×1000mm×1700mm

真空腔体尺寸

1025mm×980mm×820mm

500mm×500mm×500mm

每层极(网)板有效处理尺寸

800mm×580mm

480mm×480mm

最大有效处理层数

9层

5层

电源系统

40KHz固态晶体管等离子发生源,AC380V(±10%)

输出功率

0-5000W连续可调

放电真空度

20Pa-80Pa

20Pa-50Pa

可加载气体

O2,N2,H2,CF4,Ar

进气方式

2路进气、1路放空、1路接枝

控制方式

PLC+触摸屏

应用范围

电子工业:PCB/FPC、半导体、LED

太阳能产业:电池衬底

生物医疗:培养皿、导管、移液器 

通用行业:玻璃/金属、橡胶/塑料