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低压真空式等离子清洗机
产品特点
等离子辉光均匀稳定，处理均匀，效果明显；
有效清洗材料表面的有机污物
增强材料表面的附着力
适用于处理多种类型材料，包括：塑料、橡胶、金属、玻璃、陶瓷、聚合物以及几何形状各异的表面
操作简便，处理过程自动控制；
使用成本低，易于维护；
干式处理，无三废排放，安全环保；
技术参数
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设备型号 |
C-100 |
C-S50 |
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电极规格 |
水平/垂直 |
水平 |
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外型尺寸 |
1840mm×1300mm×1900mm |
1000mm×1000mm×1700mm |
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真空腔体尺寸 |
1025mm×980mm×820mm |
500mm×500mm×500mm |
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每层极（网）板有效处理尺寸 |
800mm×580mm |
480mm×480mm |
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最大有效处理层数 |
9层 |
5层 |
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电源系统 |
40KHz固态晶体管等离子发生源，AC380V（±10%） |
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输出功率 |
0-5000W连续可调 |
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放电真空度 |
20Pa-80Pa |
20Pa-50Pa |
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可加载气体 |
O2，N2，H2，CF4，Ar |
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进气方式 |
2路进气、1路放空、1路接枝 |
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控制方式 |
PLC+触摸屏 |
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应用范围
电子工业：PCB/FPC、半导体、LED
太阳能产业：电池衬底
生物医疗：培养皿、导管、移液器
通用行业：玻璃/金属、橡胶/塑料
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