20L进口射频低压真空等离子清洗机

产品特点

※金俊虹C-20AS-13.56等离子表面处理设备通过产生所带来的能量大于聚合物材料表面分子结合链能的低温等离子粒子来撞击材料表面。材料经等离子体撞击处理后发生多种的物理、化学变化，从而实现材料表面的亲和性改性原理而设计制造的；

※金俊虹C-20AS-13.56等离子表面处理设备适用于各种几何形状，表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、高分子材料等物件表面进行360度超清洗和表面改性处理。

※金俊虹C-20AS-13.56等离子表面处理设备操作简便；工艺参数可设置，修改，处理过程自动控制；使用成本低，易于维护；

※金俊虹C-20AS-13.56等离子表面处理设备处理时间短、等离子辉光均匀稳定，处理效果好；

※金俊虹C-20AS-13.56等离子表面处理设备具备工艺参数记录系统和故障报警查询功能，安全稳定可靠；

产品详细介绍

一、工作原理

金俊虹C-20AS-13.56等离子表面处理设备是通过在密封容器中设置两个电极形成电场，并用真空泵实现一定的真空度。随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，他们发生碰撞而形成等离子体，同时发出辉光，等离子体在电磁场内空间运动，轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗的效果。

二、设备构成

1.腔体及机柜

名称	品名/型号	数量	主要技术参数
真空腔	304不锈钢	1	深宽高=350mm250mm250mm
电极板		3件	/
机柜	铝型材+涂塑面板	/	深宽高=1000mm700mm1620mm

2.气路控制系统

名称	品名/型号	数量	主要技术参数
真空泵	双级油旋片泵	1套	内置，极限压力5*10Pa,抽速240L/min，AC220V，0.65KW
气体质量流量计	日本小岛	2	2路气体：氮气，氧气。气体量程0~500ml/min
真空计	瑞士INFICON	1	计量范围0~10000mTorrs
气体阀门	SMC	3	/
供气系统	亚太软管+不锈钢波纹管路	1	2路气体供气，1路气体放气

3.等离子及电气控制系统

名称	品名/型号	数量	主要技术参数
等离子电源	美国CERES	1	AC220V频率13.56MHz,功率0~300W可调
低压控制器件	施耐德、欧姆龙	/	/
腔体温度装置	/	1	感应温度0~150摄氏度
触摸屏	威纶通MT8121IE	1	液晶屏12分辨率1024*768,32Rasio,600MHz主频
控制模块	西门子	/	S7200SMART+输入输出模拟量扩展模块
控制软件	金俊虹	/	C-V2.01 Advanced操作系统

三、工艺参数

1、工艺参数可设置，修改，储存多组参数随时可调节调用；

2.工艺参数记录系统、故障报警查询、操作权限管理；

3、可加载气体：氮气、氧气等共2路进气；

4.气体进出方式：手动/自动可任意切换；

5.气体流量：<=500ml/min;

6.真空度5Pa-100Pa;抽速240L/分钟；

7.处理时间：抽真空+放气<=3min

四、设备环境要求

项目	要求
供电	AC220V、6A、接地地线电阻小于0.5欧姆
工作环境	-10℃~+50℃
相对湿度	<94%
工作气体	无油无水的空气、氧气、氮气、惰性气体等非易燃易爆的混合气体